银靶材,由高纯度银锭熔炼制备而成,银具有很好的延展性,其导电性和导热性在所有的金属中都是*高的。
银靶材适用于溅射镀膜领域,银常用来制作灵敏度极高的物理仪器元件,各种自动化装置、火箭、潜水艇、计算机、核装置以及通讯系统,所有这些设备中的大量的接触点都是用银制作的。在半导体芯片、MEMS传感器、光电器件、宽禁带半导体、石墨烯等行业领域应用广泛。
1,适用溅射设备品牌
适用设备:单靶溅射系统,双靶溅射系统,JC500型磁控溅射仪,DE300DL 磁控溅射系统
适用设备品牌:
国产品牌:南光机器厂、北京仪器厂、金盛微纳、沈阳科仪、JK-LASKER、微电子所等品牌
进口品牌:美国MRC,CVC、Varian公司等品牌
常规尺寸:
1.直径:1英寸,2英寸,3英寸,4英寸,5英寸等不同直径
2.厚度:1mm,2mm,3mm,4mm等尺寸可定做
1.1、金属蒸发镀膜材料
铝(Al),铟(In),铅(Pb),铂(Pt),镁(Mg),钼(Mo),锰(Mn),镍(Ni),铌(Nb),硅(Si),铬(Cr),钴(Co),铜(Cu),锗(Ge),金(Au),铪(Hf),银(Ag),铁(Fe),锡(Sn),钛(Ti),钽(Ta),碲(Te),钨(W),锌(Zn),锆(Zr),钪(Sc),镧(La),铽(Tb),镥(Lu),镝(Dy),铒(Er),钕(Nd),镱(Yb),铕(Eu),钇(Y),钆(Gd),铥(Tm),镨(Pr)
1.2、氧化物蒸发镀膜材料
氧化铝(Al2O3),氧化钕(Nd2O3),氧化锑(*2O3),五氧化二铌(Nb2O5),氧化锡掺锑(ATO),氧化镨(Pr6O11),钛酸钡(BaTiO3),钛酸镨(Pr(TiO2)2),氧化铋(Bi2O3),氧化镨(Pr2O3),二氧化铈(CeO2),氧化钐(*2O3),氧化铜(CuO),氧化钪(Sc2O3),氧化铬(Cr2O3),二氧化硅(SiO2),氧化镝(Dy2O3),一氧化硅(SiO),氧化铒(Er2O3),钛酸锶(SrTiO3),氧化铕(Eu2O3),锆酸锶(SrZrO3),氧化钆(Gd2O3),五氧化二钽(Ta2O5),氧化镓(Ga2O3),氧化铽(Tb4O7),氧化锗(GeO2),氧化碲(TeO2),氧化铪(HfO2),氧化钍(ThO2),氧化钬(Ho2O3),氧化铥(Tm2O3),氧化铟(In2O3),*(TiO2),氧化铟锡化合物(ITO),一氧化钛(TiO),氧化铁(Fe2O3),五氧化三钛(Ti3O5),四氧化三铁(Fe3O4),三氧化二钛(Ti2O3),氧化镧(La2O3),氧化锡(SnO2),铝酸镧(LaAlO3),一氧化锡(SnO),钛酸铅(PbTiO3),三氧化钨(WO3),锆酸铅(PbZrO3),*(V2O5),铌酸铝(LiNbO3),钇铝石榴石(YAG)Y3Al5O12,氧化锂(LiO),三氧化二镱(Yb2O3),钽酸锂(LiTaO3),三氧化二钇(Y2O3),*(ZnO),氧化镥(Lu2O3),*掺铝(ZnO:Al),*(MgO),二氧化锆(ZrO2)(未掺杂),二氧化锰(MnO2),氧化钙稳定二氧化锆(ZrO2-5-15wt%CaO),钛酸镁(MgTiO3),氧化钇稳定二氧化锆(ZrO2掺杂Y2O3),氧化钼(MoO3)。
1.3、氟化物蒸发镀膜材料
*(AlF3),氟化镨(PrF3),*(BaF3),氟化镁(MgF2),*(CdF2),氟化钕(NdF3),氟化钙(CaF2),氟化铈(CeF3),氟化钐(*F3),氟化镝(DyF3),*(NaF),氟化铒(ErF3),冰晶石(Na3AlF6),氟化铪(HfF4),氟化锶(SrF2),*(KF),氟化钍(ThF4),*(LaF3),氟化钇(YF3),*(PbF2),氟化镱(YbF3),*(LiF)
1.4、其他蒸发镀膜材料
氮化铝(AlN),钛酸镁(MgTiO3),铁酸钡(BaFeO3),氮化铌(NbN),钛酸钡(BaTiO3),锑化铟(In*),钛酸铋(BiTiO3),钛酸镨(PrTiO3),氮化硼(BN),氮化硅(Si3N4),硫化镉(CdS),碳化硅(SiC),*(CdTe),钛酸锶(SrTiO3),镀铬钨条,氮化钽(TaN),冰晶石(Na3AlF6),碳化钽(TaC),砷化镓(GaAs),二硼化钛(TiB2),氮化铪(HfN),碳化钛(TiC),硼化铁(FeB),氮化钛(TiN),铝酸镧(LaAlO3),碲化铅(PbTe),碳化钨(WC),六硼化镧(LaB6),铁酸钇(YFe2O3),钽酸锂(LiTaO3),YBC,钛酸镧(LaTiO3),*(ZnSe),铌酸锂(LiNbO3),碲化锌(ZnTe),硫化铅(PbS),硫化锌(ZnS)
1.5、混合物镀膜材料根据客户的需求进行配制。